日前，中国科学院研究团队成功研制出可产生193纳米相干光的紧凑型全固态激光系统。深紫外激光（DUV）波长小于250纳米，因光子能量高、波长短，能实现原子级精密加工。过去这类激光主要依赖体积庞大、能耗高的准分子激光器或气体放电激光器。例如半导体光刻行业普遍使用的193纳米ArF准分子激光器，其复杂的气体循环系统导致设备占地面积达数十平方米。

研究团队自制Yb:YAG晶体放大器输出1030纳米基频光，重复频率达6kHz；分束后分别通过四倍频生成258纳米紫外光（1.2瓦）和光学参量放大产生1553纳米红外光（700毫瓦）。此套方案最大的亮点在于‘瘦身’成功——所有组件可集成在标准光学平台上，体积比传统方案缩小90%以上。该突破性成果不仅为混合型ArF准分子激光器提供了新型种子光源，更在晶圆加工、缺陷检测、量子通信和光学微操控等领域展现出重要应用前景。

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